霍尼韦尔Zephyr数字式气体质量流量传感器：HAF系列高精度型气体质量流量传感器在指定的满量程和补偿温度范围内提供一个数字接口读取气体流量。它们的绝热型加热器和温度感应元件有助于这些传感器对空气或其他气体做出快速响应。Zephyr传感器旨在测量空气和其他无腐蚀性气体的质量流量。标准流量测量范围为10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM或300 SLPM，也可提供定制流量范围。这些传感器利用电路板上的专用集成电路(ASIC)进行全面的校准和温度补偿。10 SLPM以上的HFA系列在0℃到50℃的温度范围内进行了补偿，传感器的响应时间仅为1毫秒。