VTI SCA103T系列单轴倾角传感器基于3D-MEMS技术并采用了差动测量原理。与SCA100T不同的是SCA103T系列倾角芯片虽然同样采用了两颗敏感元件，但却是安装在同一轴向上，是单轴测量倾角传感器芯片。而相对单轴倾角传感器SCA61T系列，其精度更高。高校准精度、低温度漂移性、高分辨率加上低噪声和健全的设计使得SCA103T成为高精度水平测量仪器的理想产品。与此同时，村田的倾角传感器具有较好的抗振性和耐冲击性。